
Während des Schaltvorgangs von Normalstrom oder Kurzschlussströmen werden SF₆-Moleküle durch den Bogen ionisiert und zerlegt. Die Abbildung zeigt die Hauptreaktionsprozesse und die Orte, an denen jeder Prozess wahrscheinlich auftritt. SF₄, als das primäre Zerfallsprodukt der elektrischen Entladung, reagiert zunächst mit H₂O an der Innenwand, wodurch SOF₂ entsteht. Die Metallfluoride bleiben in Form von Pulver oder Staub an der Oberfläche. H₂O wird bei dieser Reaktion freigesetzt und steht somit für weitere Reaktionen mit SF₄ oder für die viel langsamer verlaufende Umwandlung von SOF₂ in SO₂ zur Verfügung. Tatsächlich wird H₂O in diesem Prozess nicht verbraucht, sondern wirkt als Katalysator. Die beteiligten Faktoren sind wie folgt: