
Normaalin kuorman tai lyhytkatkaisun sähkövirtaa vaihtellessa SF₆-molekyylit ionisoituvat ja hajoavat kaaren vaikutuksesta. Kuva havainnollistaa pääasiallisia reaktioprosesseja ja niiden todennäköisiä tapahtumapaikkoja. SF₄, joka on ensisijainen hajotustuote sähköiskun seurauksena, reagoi ensin sisäseinän pinnalla olevan H₂O:n kanssa tuottamalla SOF₂:n. Metallifluoridit pysyvät pöly- tai tomuna pinnalla. Tässä reaktiossa vapautuu H₂O, joka tulee käytettäväksi lisäreaktioissa SF₄:n kanssa tai paljon hitaammassa SOF₂:n muuntumisessa SO₂:ksi. Itse asiassa tässä prosessissa H₂O:a ei kuluteta, vaan se toimii katalysaattorina. Osallistuvat tekijät ovat seuraavat: