
Під час переключення нормального навантаження або струму короткого замикання молекули SF₆ іонізуються та розщеплюються дугою. На малюнку показані основні реакційні процеси та місця, де кожен з них найбільш ймовірно відбудеться. SF₄, який є основним продуктом розкладу в результаті електричного розряду, спочатку реагує з H₂O на внутрішній поверхні, що призводить до утворення SOF₂. Металеві фториди залишаються у вигляді порошку або пилу на поверхні. У цій реакції виділяється H₂O, яке може брати участь у подальших реакціях з SF₄ або у набагато повільнішому перетворенні SOF₂ на SO₂. Насправді, у цьому процесі H₂O не витрачається, а діє як каталізатор. Фактори, які впливають на цей процес, такі: