
ಸಾಮಾನ್ಯ ಲೋಡ್ ಅಥವಾ ಛಾಲು ಪರಿಪತ್ತಿ ಚಾಲನೆಯಲ್ಲಿ, SF₆ ಅಣುಗಳು ಅರ್ಕ್ ಮೂಲಂ ಆಯೋಣೀಕರಿಸಲ್ಪಟ್ಟು ಮತ್ತು ವಿಭಜಿಸಲ್ಪಟ್ಟು. ಚಿತ್ರದಲ್ಲಿ ಪ್ರಮುಖ ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯಾ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳು ಮತ್ತು ಪ್ರತಿಯೊಂದು ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಸಂಭವನೀಯ ಸ್ಥಳಗಳನ್ನು ತೋರಿಸಲಾಗಿದೆ. ಬಿಜ ವಿಚ್ಛೇದದಿಂದ ಉತ್ಪಾದಿಸப்படುವ ಪ್ರಧಾನ ವಿಭಜನ ಉತ್ಪಾದನೆ SF₄, ಆಂತರಿಕ ದೀವಾರ ಮೇಲಿನ H₂O ಗೆ ಮೊದಲು ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯಿಸುತ್ತದೆ, ಇದರಿಂದ SOF₂ ಉತ್ಪಾದಿಸುತ್ತದೆ. ಧಾತ್ವಿಕ ಫ್ಲೋರೈಡ್ಗಳು ದೀವಾರದ ಮೇಲೆ ಚೂರ್ಣ ಅಥವಾ ಧೂಳಿನ ರೂಪದಲ್ಲಿ ಉಳಿಯುತ್ತವೆ. ಈ ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿ H₂O ವಿಲೀನವಾಗುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಹೆಚ್ಚು ಕಡಿಮೆ ಗತಿಯಿಂದ SF₄ ಅಥವಾ SOF₂ ನ್ನು SO₂ ಗೆ ಪರಿವರ್ತಿಸುವ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗೆ ಲಭ್ಯವಾಗುತ್ತದೆ. ಇದನ್ನು ನಿಷ್ಕ್ರಿಯಕ ಎಂದು ಭಾವಿಸಬಹುದು, ಏಕೆಂದರೆ ಇದು ನಷ್ಟವಾಗದೇ ಉಳಿಯುತ್ತದೆ. ಈ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿ ಒಳಗೊಂಡಿರುವ ಅಂಶಗಳು ಈ ಕೆಳಕಿನಂತಿವೆ: