
Tavalise laet või lühikese voolu vahetamisel ioniseeritakse ja fragmenteeritakse SF₆ molekulid. Joonis näitab peamisi reaktsiooniprotsesse ja kohti, kus iga protsess toimub. SF₄, mis on elektrilise väljapääsu peamine dekompositsioonituote, reageerib esmalt sisemuse seina pinnal asuvaga H₂O, mille tulemuseks on SOF₂. Metallifluorüüd jäävad pinnale pudruna või tolmuna. Reaktsioonis vabastub H₂O, mis muutub saadavaks edasiste reaktsioonide jaoks SF₄-ga või palju aeglaseks teisendamiseks SOF₂-d SO₂-ks. Tegelikult seda protsessi käigus ei tarbita H₂O-d, vaid see toimib katalüsaatorina. Protsessi mõjutavad järgmised tegurid: