
در زمان تغییر بار عادی یا جریان کوتاه، مولکولهای SF₆ توسط قوس الکتریکی یونیزه و تجزیه میشوند. شکل نمایانگر فرآیندهای واکنش اصلی و مکانهایی است که هر فرآیند به احتمال زیاد در آنجا رخ میدهد. SF₄، به عنوان محصول اصلی تجزیه ناشی از تخلیه الکتریکی، ابتدا با H₂O روی سطح داخلی واکنش نشان میدهد و SOF₂ ایجاد میکند. فلوریدهای فلزی به صورت پودر یا غبار روی سطح باقی میمانند. در این واکنش H₂O آزاد میشود و برای واکنشهای بیشتر با SF₄ یا برای تبدیل بسیار آهسته SOF₂ به SO₂ در دسترس است. در واقع، در این فرآیند، H₂O مصرف نمیشود بلکه به عنوان یک کاتالیزور عمل میکند. عوامل درگیر به شرح زیر هستند: