
Normal yuklanish yoki qisqa qatorli elektr oqimi o'zgartirilayotganda, SF₆ molekulalari arka orqali ionlangan va ajratiladi. Rasm asosiy reaksiya jarayonlarini va har bir jarayonning ehtimoli aniq bo'lgan joylarni ko'rsatadi. Elektr oqimi tufayli paydo bo'lgan asosiy ajralgan mahsulot SF₄, avvalo ichki divarning yuzasida H₂O bilan reaksiyada bo'lib, SOF₂ hosil qiladi. Metall fluoridlari toz yoki cho'nod shaklda divarning yuzasida qoladi. Bu reaksiyada H₂O chiqariladi va shunday qilib, SF₄ bilan yanada reaksiyada bo'lishi yoki SOF₂ ning SO₂ ga juda sekin o'tishiga imkon beriladi. Aslida, bu jarayonda H₂O sarflanmaydi, balki katalizator sifatida ishlaydi. Qatnashadigan omillar quyidagilardir: