
Κατά την αλλαγή της φυσιολογικής φορτίας ή του ρεύματος κατά την παρακμή, τα μόρια SF₆ ιονίζονται και διασπώνται από την τόξωση. Το σχήμα απεικονίζει τις βασικές διεργασίες αντίδρασης και τις θέσεις όπου είναι πιθανό να συμβαίνει κάθε διαδικασία. Το SF₄, ως βασικό προϊόν διάσπασης που προκύπτει από την ηλεκτρική παρακμή, αρχικά αντιδρά με H₂O στην εσωτερική επιφάνεια, παράγοντας SOF₂. Τα μεταλλικά fluorides παραμένουν σε μορφή πούδρας ή σκόνης στην επιφάνεια. Το H₂O απελευθερώνεται κατά τη διάρκεια αυτής της αντίδρασης και γίνεται διαθέσιμο για περαιτέρω αντιδράσεις με SF₄ ή για τη πολύ αργότερη μετατροπή του SOF₂ σε SO₂. Στην πραγματικότητα, σε αυτή τη διαδικασία, το H₂O δεν καταναλώνεται, αλλά λειτουργεί ως καταλύτης. Οι παράγοντες που συμμετέχουν είναι οι εξής: