
Trong quá trình chuyển mạch tải bình thường hoặc dòng điện ngắn mạch, các phân tử SF₆ bị ion hóa và phân rã bởi hồ quang. Hình minh họa cho thấy các quá trình phản ứng chính và vị trí mà mỗi quá trình có khả năng xảy ra. SF₄, như sản phẩm phân rã chính từ phóng điện, đầu tiên phản ứng với H₂O trên bề mặt trong, tạo ra SOF₂. Các fluoride kim loại vẫn tồn tại dưới dạng bột hoặc bụi trên bề mặt. H₂O được giải phóng trong phản ứng này và do đó trở nên sẵn có cho các phản ứng tiếp theo với SF₄ hoặc cho quá trình chuyển đổi chậm hơn nhiều của SOF₂ thành SO₂. Trên thực tế, trong quá trình này, H₂O không bị tiêu thụ mà chỉ hoạt động như một chất xúc tác. Các yếu tố liên quan là như sau: