
Podczas przełączania normalnego obciążenia lub prądu zwarciowego cząsteczki SF₆ są jonizowane i rozkładane przez łuk. Rysunek ilustruje główne procesy reakcji oraz miejsca, w których każdy z tych procesów prawdopodobnie wystąpi. SF₄, jako główny produkt rozpadu powstający w wyniku wyładowania elektrycznego, najpierw reaguje z H₂O na wewnętrznej powierzchni ściany, co prowadzi do powstania SOF₂. Fluorki metali pozostają w formie proszku lub kurzu na powierzchni. W tej reakcji uwalniany jest H₂O, który staje się dostępny do dalszych reakcji z SF₄ lub do znacznie wolniejszej konwersji SOF₂ na SO₂. W rzeczywistości, w tym procesie, H₂O nie jest zużywany, ale działa raczej jako katalizator. Czynniki zaangażowane w ten proces to: