ஈலெக்ட்ரான் கைப்பற்று விசையாயனம் (ECD) முறை - sf6 வாயு மாற்றியாற்றி

என் எலெக்ட்ரான் கைப்பற்றி (ECD) என்பது 1 ppmv கீழ் சல்லியூர் ஹெக்ஸ்அஃப்ளோரைட் (SF6) ஐ விட்டுச்சேர்க்க முடியும் உயர் திறன் உள்ள உபகரணமாகும். இந்த திறன் SF6-இன் உயர் எலெக்ட்ரான் ஒட்டுமதி, அதாவது அதன் எலெக்ட்ரான்களை விட்டுச்சேர்க்கும் திறனின் மூலம் வருகிறது. ECD-இல் உள்ள எலெக்ட்ரான்கள் ஒரு ரேடியோ அமுக்க மூலத்தின் மூலம் உருவாக்கப்படுகின்றன. பொதுவாக, ECD-ஆனது ரேடியோ நுக்லைட் நிக்கலின் மூலம் அமைக்கப்பட்ட ஓர் உலோக மெம்பிரேன் வடிவில் உள்ளது.

அலகான நிலையில் இருக்கும்போது, ரேடியோ அமுக்க மூலத்திலிருந்து விடுத்துச்சென்ற எலெக்ட்ரான்கள் ஒரு எலெக்ட்ரிக் புலத்தால் முன்னேற்றம் பெறுகின்றன. இந்த முன்னேற்றம் பெற்ற எலெக்ட்ரான்கள் பொதுவாக சுற்றுச்சூழல் வாயு, பொதுவாக சுற்று வாயு ஆகும், இவற்றை ஆயந்து வாயு அணுக்களும் எலெக்ட்ரான்களும் எலக்ட்ரோட்டுகளில் சேகரிக்கப்படுகின்றன. இதனால், ஒரு தொடர்ச்சி - நிலை அயனம் நிறுவப்படுகிறது.

பார்வையில் உள்ள வாயு மாதிரியில் SF6 உள்ளது என்றால், அது அமைப்பில் கிடைக்கும் சுதந்திர எலெக்ட்ரான்களின் எண்ணிக்கையை குறைப்பதாகும். இது ஏனெனில் எலெக்ட்ரான்கள் SF6 அணுக்களுக்கு ஒட்டப்படுகின்றன. அயன வரி குறைந்தது நேரியல் திறனாக SF6 மாதிரியின் அளவிற்கு விளைவாகிறது. இங்கு குறிப்பிடப்படவேண்டியது, வேறு மூலக்கூறுகளும் ஒரு திறனாக எலெக்ட்ரான் ஒட்டுமதிகளை உள்ளடக்கியிருக்கும், இதனால் அலகான நிலையில் SF6-ஐ மட்டுமல்லாமல் இவற்றுக்கும் உண்டாகும்.

அடிப்படையில், ECD ஒரு வெளியேற்ற வேக அலகாக வேலை செய்கிறது. இதனால், அலகான நிலையில் வாயு மாதிரியை ஒரு மாறிலியான வேகத்தில் எலெக்ட்ரிக் புலத்தின் மூலம் வெளியேற்றுகிறது. கலிப்பு செயல்பாடுகளின் மூலம், வெளியேற்ற வேக தரவு உள்ளிட்டு SF6 அளவுகளாக மாற்றப்படுகிறது மற்றும் அது வெளிப்படையாக பார்வையில் வாயு அளவில் (ppmv) பதிவு செய்யப்படுகிறது.

இணைப்பில் உள்ள பிரதிபலிப்பு ஒரு எலெக்ட்ரான் கைப்பற்றி (ECD)-ஐ வெளிப்படுத்துகிறது.