ელექტრონული შემთხვევის დეტექტორის (ECD) მეთოდი sf6 გაზის სイჩის მოწყობილობებით

ელექტრონული დამატკივებელი დეტექტორი (ECD) არის ძალიან გამზრდი ინსტრუმენტი, რომელიც შეიძლება დაადგინოს სუფთარის ოქტაფლუორიდის (SF6) კონცენტრაცია 1 ppmv-ზე დაბალ დონეზე. ამ გამზრდის საფუძველში მდებარეობს SF6-ის მაღალი ელექტრონული დამატკივების კოეფიციენტი, რაც ნიშნავს მის ძლიერ შესაძლებლობას ელექტრონების დატკვეცაში. თავისუფალი ელექტრონები, რომლებიც ხელმისაწვდომია SF6 მოლეკულებისთვის, წარმოქმნილია ECD-ში შენახული რადიოაქტიური წყაროდან. ჩვეულებრივ, ECD-მა იყენებს რადიოემიტერს ნიკელით დაფარული სამეტალიური ფილმის სახით.

როდესაც დეტექტორი მუშაობს, რადიოაქტიური წყაროდან გამოსული ელექტრონები აქცელებიან ელექტრული ველით. ამ აქცელებული ელექტრონები იონიზებენ ფონურ აირს, რომელიც ჩვეულებრივ არის ატმოსფერული ჰაერი. რезультатად, ქვემოდათვლის დროს დაიწყება სტაბილური იონიზაციის დენი, როგორც იონები და ელექტრონები არის შეგროვებული ელექტროდებზე.

როდესაც ანალიზის ჰაერის ნიმუშში შეიძლება განიხილოს SF6, ის შემცირებს სისტემაში თავისუფალი ელექტრონების რაოდენობას. ეს ხდება იმიტომ, რომ ელექტრონები დაუტკვეცია SF6 მოლეკულებს. იონიზაციის დენის შემცირება პროპორციულია SF6-ის კონცენტრაციას ნიმუშში. თუმცა, უნდა აღინიშნოს, რომ სხვა მოლეკულებსაც აქვთ რაღაც ელექტრონული დამატკივების კოეფიციენტი, რაც ნიშნავს, რომ დეტექტორი გამზრდია არა მხოლოდ SF6-ისთვის, არამედ ამ სხვა მოლეკულებისთვის ასევე.

ესენციურად, ECD ფუნქციონირებს როგორც დების სიჩქარის დეტექტორი. ეს იმიტომ, რომ სენსორი გადასახადის აირს დაუწყობს ელექტრულ ველში მუდმივი სიჩქარით. კალიბრაციის პროცედურების საშუალებით, დების სიჩქარის მონაცემები შინაურად გადაიყვანება SF6-ის კონცენტრაციაში და ჩაიწერება მილიონი წელს მიერ მოცემული ტომრის მიხედვით (ppmv).

შესახებ სურათზე გამოსახულია ელექტრონული დამატკივებელი დეტექტორი (ECD).