Untuk pengesanan kadar kebocoran gas SF6 dalam peralatan GIS, apabila menggunakan kaedah pengesanan kebocoran kuantitatif, kandungan gas SF6 awal dalam peralatan GIS mesti diukur dengan tepat. Mengikut piawaian yang berkaitan, ralat pengukuran harus dikawal dalam ±0.5%. Kadar kebocoran dikira berdasarkan perubahan kandungan gas selepas tempoh masa tertentu, seterusnya menilai prestasi kedap udara peralatan tersebut.
Dalam kaedah pengesanan kebocoran kualitatif, pemeriksaan visual secara langsung sering digunakan, yang melibatkan pemerhatian visual pada kawasan penting seperti sambungan dan valve peralatan GIS untuk tanda-tanda kebocoran gas SF6, seperti pembentukan embun beku. Ini memerlukan pemeriksa memiliki pengalaman lapangan yang luas untuk mengenal pasti ciri-ciri kebocoran yang halus. Teknik pengesanan berdasarkan imej inframerah menggunakan ciri penyerapan gas SF6 pada panjang gelombang inframerah tertentu. Semasa pengesanan, panjang gelombang termografi inframerah harus ditetapkan sekitar 6 μm, membolehkan lokalisasi cepat titik-titik kebocoran potensial dalam peralatan GIS, dengan ketepatan pengesanan mencapai tahap ppm.
Apabila menggunakan kaedah tudung untuk pengesanan kadar kebocoran, sebuah tudung kedap yang sesuai mesti dibuat suai mengikut dimensi spesifik peralatan GIS. Nisbah isipadu tudung dalaman terhadap isipadu peralatan biasanya dikawal antara 1.2 hingga 1.5 untuk memastikan persekitaran pengesanan yang relatif stabil dan seterusnya mendapatkan data kebocoran yang tepat.
Untuk spektrometri jisim gas dalam pengesanan kebocoran SF6, pengukuran tepat jisim ion dan kelimpahan relatif membolehkan pengenalan jumlah kecil kebocoran SF6, dengan had pengesanan serendah tahap ppb, menyediakan sokongan kuat untuk pengesanan awal kebocoran potensial.
Apabila menggunakan kaedah penurunan tekanan untuk mendeteksi kadar kebocoran, pemantauan berterusan perubahan tekanan dalaman dalam peralatan GIS diperlukan, dengan nilai tekanan direkod setiap 24 jam. Jumlah kebocoran dikira berdasarkan undang-undang gas ideal, mengambil kira pengaruh faktor-faktor alam sekitar seperti suhu dan tekanan semasa pengiraan.