ಜೆಐಎಸ್ ಉಪಕರಣದಲ್ಲಿ ಎಸ್ಎಫ್6 ವಾಯುವಿನ ಲೀಕೇಜ್ ದರ ಗುರಿಯನ್ನು ಕಂಡುಹಿಡಿಯುವುದಕ್ಕೆ ಪ್ರಮಾಣಿತ ಲೀಕೇಜ್ ಶೋಧನಾ ವಿಧಾನವನ್ನು ಬಳಸಿದಾಗ, ಜೆಐಎಸ್ ಉಪಕರಣದಲ್ಲಿ ಮೊದಲಿಗೆ ಎಸ್ಎಫ್6 ವಾಯುವಿನ ಪ್ರಮಾಣವನ್ನು ಸರಿಯಾಗಿ ಅಂದಾಜಿಸಬೇಕು. ಸಂಬಂಧಿತ ಮಾನದಂಡಗಳ ಪ್ರಕಾರ, ಅಂದಾಜಿಸಿದ ತಪ್ಪು ನಿಯಂತ್ರಿಸಲು ±0.5% ರಷ್ಟು ಹೋಗಬೇಕು. ಲೀಕೇಜ್ ದರವನ್ನು ನಿರ್ದಿಷ್ಟ ಸಮಯದ ನಂತರ ವಾಯು ಪ್ರಮಾಣದ ಬದಲಾವಣೆಯ ಆಧಾರದ ಮೇಲೆ ಲೆಕ್ಕ ಹಾಕಲಾಗುತ್ತದೆ, ಈ ರೀತಿಯಾಗಿ ಉಪಕರಣದ ಸೀಲಿಂಗ್ ಶ್ರೇಷ್ಠತೆಯನ್ನು ಮೌಲ್ಯಮಾಪನ ಮಾಡುತ್ತದೆ.
ಗುಣಾತ್ಮಕ ಲೀಕೇಜ್ ಶೋಧನಾ ವಿಧಾನಗಳಲ್ಲಿ, ನೋಡಿ ಮತ್ತು ಪರಿಶೀಲಿಸುವ ವಿಧಾನ ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ, ಇದು ಜೆಐಎಸ್ ಉಪಕರಣದ ಜಂಕ್ಗಳು ಮತ್ತು ವಾಲ್ವ್ಗಳಂತಹ ಮುಖ್ಯ ಪ್ರದೇಶಗಳನ್ನು ನೋಡಿ ಎಸ್ಎಫ್6 ವಾಯುವಿನ ಲೀಕೇಜ್ ಚಿಹ್ನೆಗಳನ್ನು, ಉದಾಹರಣೆಗೆ ಚೀನದ ಉತ್ಪತ್ತಿಯನ್ನು ಗಮನಿಸುವುದು ಹೊಂದಿದೆ. ಇದರ ಮೂಲಕ ಪರಿಶೀಲಕರು ಕಡಿಮೆ ಲೀಕೇಜ್ ಲಕ್ಷಣಗಳನ್ನು ಸರಿಯಾಗಿ ಗುರುತಿಸಲು ವಿಶಾಲ ಕ್ಷೇತ್ರ ಅನುಭವ ಹೊಂದಿರುವುದು ಅಗತ್ಯವಿದೆ. ಇನ್ಫ್ರಾರೆಡ್ ಚಿತ್ರೀಕರಣ ಆಧಾರಿತ ಶೋಧನಾ ತಂತ್ರಗಳು ಎಸ್ಎಫ್6 ವಾಯುವಿನ ನಿರ್ದಿಷ್ಟ ಇನ್ಫ್ರಾರೆಡ್ ತರಂಗಾಂತರಗಳಲ್ಲಿ ಅಭಿವೃದ್ಧಿಯನ್ನು ಬಳಸುತ್ತವೆ. ಶೋಧನೆಯ ದರಿಯಲ್ಲಿ, ಇನ್ಫ್ರಾರೆಡ್ ಥರ್ಮಲ್ ಇಮೇಜರ್ನ ತರಂಗಾಂತರವನ್ನು ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ 6 μm ಗಿಂತ ಕಡಿಮೆ ಮಾಡಿಕೊಳ್ಳಲಿದೆ, ಇದರ ಮೂಲಕ ಜೆಐಎಸ್ ಉಪಕರಣದಲ್ಲಿ ಸಂಭಾವ್ಯ ಲೀಕೇಜ್ ಬಿಂದುಗಳನ್ನು ದ್ರುತವಾಗಿ ಸ್ಥಾನೀಕರಿಸಬಹುದು, ಶೋಧನ ಸರಿಯಾದ ಪ್ರಮಾಣವು ppm ಮಟ್ಟವನ್ನು ಪ್ರಾಪ್ತಿಸಬಹುದು.
ಹೂಡ್ ವಿಧಾನವನ್ನು ಬಳಸಿ ಲೀಕೇಜ್ ದರ ಗುರಿಯನ್ನು ಕಂಡುಹಿಡಿಯುವುದಕ್ಕೆ, ಜೆಐಎಸ್ ಉಪಕರಣದ ವಿಶೇಷ ಮಾಪಗಳ ಆಧಾರದ ಮೇಲೆ ಒಂದು ಯೋಗ್ಯ ಸೀಲ್ ಮಾಡಿದ ಹೂಡ್ ತಯಾರಿಸಬೇಕು. ಹೂಡಿನ ಆಂತರಿಕ ಘನಫಲ ಮತ್ತು ಉಪಕರಣದ ಘನಫಲದ ಅನುಪಾತವನ್ನು ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ 1.2 ರಿಂದ 1.5 ರ ಮಧ್ಯ ನಿಯಂತ್ರಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ, ಇದರ ಮೂಲಕ ಸ್ಥಿರ ಶೋಧನ ವಾತಾವರಣ ನಿರ್ದಿಷ್ಟವಾಗಿ ಸಾಧಿಸಬಹುದು, ಇದರ ಮೂಲಕ ಸರಿಯಾದ ಲೀಕೇಜ್ ದತ್ತಾಂಶ ಪಡೆಯಬಹುದು.
ಎಸ್ಎಫ್6 ಲೀಕೇಜ್ ಶೋಧನೆಯಲ್ಲಿ ವಾಯು ಪ್ರತಿಫಲನ ವಿಧಾನವನ್ನು ಬಳಸಿದಾಗ, ಆಯನ ಪ್ರಮಾಣ ಮತ್ತು ಸಾಪೇಕ್ಷ ಪ್ರಚುರತೆಯನ್ನು ಸರಿಯಾಗಿ ಅಂದಾಜಿಸುವುದು ಮೂಲಕ ಅತ್ಯಂತ ಕಡಿಮೆ ಪ್ರಮಾಣದ ಎಸ್ಎಫ್6 ಲೀಕೇಜ್ ಗುರಿಯನ್ನು ಗುರುತಿಸಬಹುದು, ಶೋಧನ ಮಿತಿಯು ppb ಮಟ್ಟವನ್ನು ಪ್ರಾಪ್ತಿಸಬಹುದು, ಇದರ ಮೂಲಕ ಸಂಭಾವ್ಯ ಲೀಕೇಜ್ ಗಳನ್ನು ಮುಂದಿನ ಸಮಯದಲ್ಲಿ ಕಂಡುಹಿಡಿಯುವುದಕ್ಕೆ ಬಲಿಯ ಮಧ್ಯಮ ನೀಡಲಾಗುತ್ತದೆ.
ದಬಲ ಹ್ರಾಸ ವಿಧಾನವನ್ನು ಬಳಸಿ ಲೀಕೇಜ್ ದರ ಗುರಿಯನ್ನು ಕಂಡುಹಿಡಿಯುವುದಕ್ಕೆ, ಜೆಐಎಸ್ ಉಪಕರಣದ ಆಂತರಿಕ ದಬಲದ ಬದಲಾವಣೆಗಳನ್ನು ನಿರಂತರವಾಗಿ ನಿರೀಕ್ಷಿಸುವುದು ಅಗತ್ಯವಿದೆ, ಪ್ರತಿ 24 ಗಂಟೆಗೆ ದಬಲ ಮೌಲ್ಯಗಳನ್ನು ದಾಖಲೆ ಮಾಡಬೇಕು. ಲೀಕೇಜ್ ಪ್ರಮಾಣವನ್ನು ಆ("\(PVT\)" ನಿಯಮದ ಆಧಾರದ ಮೇಲೆ ಲೆಕ್ಕ ಹಾಕಲಾಗುತ್ತದೆ, ಲೆಕ್ಕ ಹಾಕುವಾಗ ತಾಪಮಾನ ಮತ್ತು ದಬಲ ಆಧಾರದ ಮಾದರಿ ವಾತಾವರಣ ಅಪವರ್ತನಗಳನ್ನು ಪರಿಗಣಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ.
ಲೇಜರ್ ಪ್ರತಿಫಲನ ವಿಧಾನವು ಲೇಜರ್ ಮತ್ತು ಲೀಕ್ ಮಾಡುವ ವಾಯು ನಡುವಿನ ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯೆಯಿಂದ ಉತ್ಪಾದಿಸುವ ಪ್ರತಿಫಲಿತ ಬೆಳಕು ಸಂಕೇತವನ್ನು ವಿಶ್ಲೇಷಿಸುವ ಮೂಲಕ ಎಸ್ಎಫ್6 ವಾಯುವಿನ ಲೀಕೇಜ್ ಗುರಿಯನ್ನು ಕಂಡುಹಿಡಿಯುತ್ತದೆ. ವಾಸ್ತವವಾಗಿ, ಲೇಜರ್ ನಿಕಾಸ ಶಕ್ತಿಯನ್ನು ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ 5–10 mW ರ ಮಧ್ಯ ಹಂಚಿಕೊಳ್ಳಲಿದೆ, ಇದರ ಮೂಲಕ ಶೋಧನ ಸೂಕ್ಷ್ಮತೆ ಮತ್ತು ಸರಿಯಾದ ಪ್ರಮಾಣವನ್ನು ನಿರ್ಧರಿಸಬಹುದು.
ಆಧಾರಕ ತೂಕ ವಿಧಾನವು ಎಸ್ಎಫ್6 ವಾಯುವನ್ನು ಆಧಾರಿಸಿದ ನಂತರ ಆಧಾರಕದ ತೂಕದ ಬದಲಾವಣೆಯನ್ನು ಅಂದಾಜಿಸುವ ಮೂಲಕ ಲೀಕ್ ಗುರಿಯನ್ನು ಕಂಡುಹಿಡಿಯುತ್ತದೆ. ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಆಕ್ಟಿವೇಟೆಡ್ ಅಲೂಮಿನಾ ಆಧಾರಕವನ್ನು ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ, ಇದು 25°C ರಲ್ಲಿ ಪ್ರತಿ ಗ್ರಾಂ ಆಧಾರಕಕ್ಕೆ 0.2–0.3 ಗ್ರಾಂ ಎಸ್ಎಫ್6 ವಾಯು ಆಧಾರಿಸುತ್ತದೆ, ಇದರ ಮೂಲಕ ಲೀಕೇಜ್ ದರವನ್ನು ಲೆಕ್ಕ ಹಾಕಬಹುದು.
ಇಲೆಕ್ಟ್ರೋಕೆಮಿಕಲ್ ಶೋಧನ ಎಸ್ಎಫ್6 ವಾಯುವಿನ ಕ್ರಿಯೆಯನ್ನು ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯಾ ಮಾಡುವ ಸೆನ್ಸರ್ಗಳನ್ನು ಬಳಸಿ ಲೀಕ್ ಗುರಿಯನ್ನು ಕಂಡುಹಿಡಿಯುತ್ತದೆ. ಈ ವಿಧಾನವು ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ 1–3 ನಿಮಿಷಗಳ ಮಧ್ಯ ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯೆ ಸಮಯ ಹೊಂದಿರುತ್ತದೆ, ಇದರ ಮೂಲಕ ಜೆಐಎಸ್ ಉಪಕರಣದ ಸುತ್ತಮುತ್ತಲು ಎಸ್ಎಫ್6 ವಾಯು ಪ್ರಮಾಣವನ್ನು ನಿರಂತರವಾಗಿ ನಿರೀಕ್ಷಿಸಿ ಲೀಕ್ ಗಳನ್ನು ದ್ರುತವಾಗಿ ಗುರುತಿಸಬಹುದು.
ಅತಿದೀರ್ಘ ತರಂಗ ಶೋಧನ ಎಸ್ಎಫ್6 ವಾಯು ಲೀಕ್ ಗಳನ್ನು ಲೀಕ್ ಮಾಡುವಾಗ ಉತ್ಪಾದಿಸುವ ಅತಿದೀರ್ಘ ತರಂಗ ಸಂಕೇತಗಳ ಆಧಾರದ ಮೇಲೆ ಗುರುತಿಸುತ್ತದೆ. ಶೋಧನೆಯ ದರಿಯಲ್ಲಿ, ಅತಿದೀರ್ಘ ತರಂಗ ಸೆನ್ಸರ್ ತರಂಗಾಂತರವನ್ನು ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ 20–100 ಕಿಲೋಹರ್ಟ್ಸ್ ರ ಮಧ್ಯ ಹಂಚಿಕೊಳ್ಳಲಿದೆ, ಇದರ ಮೂಲಕ ಕಡಿಮೆ ಲೀಕ್ ಗಳಿಂದ ಉತ್ಪಾದಿಸುವ ಕಡಿಮೆ ಅತಿದೀರ್ಘ ತರಂಗ ಸಂಕೇತಗಳನ್ನು ದ್ರುತವಾಗಿ ಗುರುತಿಸಬಹುದು.