За измерване на скоростта на утечка на SF6 газ в GIS оборудването, когато се използва количествен метод за откриване на утечки, първоначалното съдържание на SF6 газа в GIS оборудването трябва да бъде точно измерено. Според съответните стандарти, грешката от измерването трябва да бъде контролирана в рамките на ±0,5%. Скоростта на утечка се изчислява на основа на промяната в съдържанието на газа след определен период от време, като по този начин се оценява герметичността на оборудването.
В качествените методи за откриване на утечки често се използва пряко визуално наблюдение, което включва визуална проверка на ключови зони като съединения и вентили на GIS оборудването за признаци на утечка на SF6 газ, като например образуване на иней. Това изисква инспекторите да разполагат с обширен практически опит, за да могат да идентифицират прецизно незначителни признаки на утечка. Методите за откриване, базирани на инфрачервено изображение, използват абсорбционните характеристики на SF6 газ при специфични инфрачервени дължини на вълната. По време на измерването дължината на вълната на инфрачервената термографска камера трябва да бъде зададена около 6 μm, което позволява бързо локализиране на потенциални точки на утечка в GIS оборудването, с точност до ppm ниво.
При използването на метода с капак за измерване на скоростта на утечка, подходящ капак, който е херметично затворен, трябва да бъде направен по специфичните размери на GIS оборудването. Отношението между обема на капака и обема на оборудването обикновено се контролира между 1,2 и 1,5, за да се осигури относително стабилна среда за измерване и така да се получат точни данни за утечка.
При използването на мас-спектрометрия за откриване на утечки на SF6, прецизно измерване на масата на ионите и относителната им наличност позволява идентификация на изключително малки количества утекнал SF6, с граница на откриване до ppb ниво, което предоставя силна подкрепа за ранно откриване на потенциални утечки.
Когато се използва методът на намаляване на налягането за откриване на утечки, е необходимо непрекъснато наблюдение на промяните във вътрешното налягане в GIS оборудването, като се записват стойностите на налягането всеки 24 часа. Количеството на утечка се изчислява на основа на законите за идеален газ, като се вземат предвид влиянието на фактори като температурата и налягането по време на изчисленията.
Методът на растрясване на лазерна светлина открива утечки на SF6 газ, анализирайки сигнала от растрясвана светлина, генериран от взаимодействието между лазера и утекания газ. В практиката мощността на изходния лазер трябва да бъде регулирана между 5–10 мВт, за да се осигури чувствителността и точността на измерването.
Методът на теглене на адсorbitent определя утечката, измервайки промяната в теглото на адсorbitent преди и след абсорбирането на SF6 газ. Обикновено се използва активиран алюминий като адсorbitent, който има ефективност на абсорбция от 0,2–0,3 г SF6 за грам адсorbitent при 25°C, позволявайки изчисляване на скоростта на утечка.
Електрохимичното откриване използва сензори, които реагират электрохимично на SF6 газ за откриване на утечки. Този метод обикновено има време на реакция в рамките на 1–3 минути, позволявайки реално време наблюдение на концентрацията на SF6 газ около GIS оборудването за бързо идентифициране на утечка.
Ултразвуковото откриване идентифицира утечки на SF6 газ на основа на ултразвуковите сигнали, генерираны по време на утечка на газ. По време на измерването честотата на ултразвуковия сензор обикновено се задава между 20–100 kHz, ефективно откривайки слаби ултразвукови сигнали, генерираны от малки утечки.