
Các bộ dò hồng ngoại photo-acoustic hoạt động dựa trên sóng áp lực được phát ra bởi các phân tử SF6 khi chúng được chiếu sáng bằng ánh sáng hồng ngoại đơn sắc. Các micro chuyên dụng phát hiện tín hiệu âm thanh, tỷ lệ thuận với năng lượng hấp thụ. Độ nhạy có thể đạt đến 0,01 μl/l, vượt xa so với các phương pháp khác. Tuy nhiên, thời gian phản hồi khoảng 15 giây hạn chế việc sử dụng thiết bị này để xác định vị trí rò rỉ.
Các bộ dò bắt electron sử dụng nguồn hạt β để ion hóa mẫu được bơm. Sau đó, dòng điện ion giữa các điện cực được đo lường. Thường sử dụng khí mang trơ. Phương pháp này đắt đỏ và ít di động hơn so với mục 3. Độ nhạy có thể đạt đến 0,1 μl/l (0,1 ppmv) của SF6 trong không khí.
Các tế bào xả corona áp dụng một điện áp cao (1 - 2 kV) vào cấu hình điện cực điểm-mặt phẳng. Dòng điện xả được đo lường và được sử dụng trong nhiều thiết bị di động chạy bằng pin, tương đối rẻ. Độ nhạy dưới 10 μl/l có thể đạt được, mặc dù không phải tất cả các thiết bị đều có thể làm được.
Mục 1 và 2 thường được sử dụng để theo dõi và định lượng rò rỉ. Mục 3 phù hợp để xác định liệu một khu vực có chứa SF6 hay không hoặc để phát hiện rò rỉ.