
汞真空泵是另一种类型的动能泵,它使用蒸汽喷射来转移气体分子的动量。

它们由两个阶段组成:涡轮分子阶段和扩散阶段。涡轮分子阶段的工作原理类似于涡轮分子泵,而扩散阶段的工作原理类似于扩散泵。气体分子因此被压缩并转移到排气泵中,将其排入大气。
汞真空泵也需要一个排气泵才能运行,因为它们无法在大气压下启动。它们还需要冷却系统以防止过热并冷凝蒸汽。汞真空泵可以达到高达10-11托尔的真空度,抽气速度范围从1000到100000升/秒。
喷射泵是另一种类型的动能泵,它使用流体(液体或气体)喷射来通过吸引气体分子从腔室或容器中创建真空。流体由高压下的压缩机或泵提供,并通过喷嘴将压力转换为速度。然后,流体喷射通过文丘里管,在其喉部创建低压区,从而吸引与之连接的腔室或容器中的气体分子。流体-气体混合物然后通过扩散器排出,将速度重新转换为压力。
喷射泵不需要任何运动部件或油,使其简单、可靠且维护成本低。它们还可以处理腐蚀性、易燃或脏污的气体而不受损坏。然而,它们在运行过程中消耗大量能量并产生噪音和热量。喷射泵可以达到高达10-2托尔的真空度,抽气速度范围从1到10000升/秒。
真空泵在各种行业和研究领域中有许多应用,例如:
航空航天:真空泵用于模拟高度、空间模拟、泄漏检测、真空钎焊、真空烧结、真空铸造、真空涂层和真空浸渍。
电子:真空泵用于半导体制造、薄膜沉积、等离子蚀刻、离子注入、光刻、电子显微镜和激光加工。
冶金:真空泵用于真空熔炼、真空退火、真空脱气、真空渗碳、真空氮化、真空硬化和真空淬火。
化学:真空泵用于蒸馏、蒸发、结晶、过滤、干燥、升华和提取。
医学:真空泵用于灭菌、手术、牙科程序、伤口愈合、输血和药物输送。
生物技术:真空泵用于冷冻干燥、冻干、细胞培养、DNA测序和蛋白质纯化。
真空泵是从密封腔室或容器中移除气体分子,从而创建部分或完全真空的设备。真空泵具有三个主要特征:排气压力、真空度和抽气速度。真空泵可以分为两大类:正排量泵和动能泵。正排量泵通过在腔室内捕获和压缩气体来工作,而动能泵则通过高速叶片、喷射或磁铁传递动量给气体分子来工作。真空泵在航空航天、电子、冶金、化学、医学和生物技术等各种行业和研究领域中有许多应用。
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