
การตรวจสอบส่วนประกอบของ GIS สามารถดำเนินการทุก 5-10 ปี อย่างไรก็ตาม ความถี่ของการตรวจสอบอาจขึ้นอยู่กับจำนวนการทำงานของอุปกรณ์สวิตช์และคำแนะนำของผู้ผลิต วัตถุประสงค์หลักคือเพื่อยืนยันว่าอุปกรณ์สวิตช์ทั้งหมดทำงานได้อย่างถูกต้อง เพื่อทำเช่นนี้ อุปกรณ์ที่เกี่ยวข้องต้องถูกปลดไฟ
ผู้ผลิต GIS ให้แผนการบำรุงรักษาที่แนะนำแก่ผู้ใช้ ซึ่งควรปฏิบัติตามอย่างเคร่งครัด การดำเนินงานทั่วไปในการตรวจสอบนี้มีดังนี้:
 - ตรวจสอบแรงดัน SF6 (ความหนาแน่น) 
- ตรวจสอบการทำงานของรีเลย์ความหนาแน่น SF6 รวมถึงสายไฟและสัญญาณเตือน 
- ยืนยันความบริสุทธิ์ของก๊าซ SF6 
- ประเมินปริมาณสารประกอบและสิ่งเจือปนของ SF6 (เช่น SO2 และความชื้น ในห้องที่ไม่มีสารดูดซับ) 
- ตรวจจับการรั่วไหลของ SF6 (โดยเฉพาะในกรณีที่มีสัญญาณเตือนตั้งแต่การตรวจสอบครั้งล่าสุด) 
- บันทึกและทบทวนเวลาการทำงานของเบรกเกอร์ (โดยใช้สวิตช์เสริม) 
- ดำเนินการทดสอบการทำงานของเบรกเกอร์และอุปกรณ์สวิตช์ 
- ตรวจสอบการทำงานของสวิตช์ความดัน ซึ่งใช้เมื่อมีกลไกไฮดรอลิก 
- ตรวจสอบการวางตำแหน่งและการทำงานของตัวชี้ตำแหน่ง 
- ยืนยันฟังก์ชันควบคุมและสัญญาณเตือน