電気エネルギーのプラズマ放電の主な特性
高温特性
プラズマ放電過程では、非常に高い温度が生成されます。電気エネルギーの作用によりガスがプラズマとなると、プラズマ内の粒子(電子やイオンなど)は高い運動エネルギーを持ち、これらの粒子間の激しい衝突により温度が急激に上昇します。例えば、アークプラズマでは、温度は数千度から数万度にも達することがあります。この高温特性により、プラズマ放電は材料加工分野で広く使用されています。例えば、プラズマ切断では、厚い鋼板などの金属材料を素早く溶かして切断することができます。切断速度は従来の切断方法よりも大幅に速く、切断面も比較的整然としています。
高エネルギー密度
プラズマ放電領域は高エネルギー密度の特徴を持っています。これは、短時間に相対的に小さな空間範囲に電気エネルギーが集中して放出されるため、その領域のプラズマのエネルギーが高度に集中するからです。プラズマスプレーを例に取ると、高エネルギー密度のプラズマはスプレー材料(セラミック粉末や金属粉末など)を溶融状態に加熱し、高速でワークピース表面に吹き付け、高品質のコーティングを形成することができます。このコーティングは耐摩耗性や耐食性などの優れた特性を持ち、航空機エンジンブレードなどの重要な部品の表面保護に使用できます。
強い酸化性
プラズマには多くの活性粒子、例えば酸素イオンやヒドロキシルラジカルなどが含まれており、これらは強い酸化性を持つ物質です。一部のプラズマ処理プロセスにおいて、これらの活性粒子は処理材料表面の有機物質や不純物と酸化反応を起こします。例えば、プラズマクリーニングでは、電子部品表面の油汚れやフォトレジストなどの有機汚染物質に対して、プラズマ中の強力な酸化物質がそれらを二酸化炭素や水などの小分子物質に分解することで、表面清掃の目的を達成します。また、この清掃方法は乾式清掃であり、有機溶剤を使用しないため、環境に優しいです。
発光特性
プラズマ放電過程では発光現象が生じます。これは、プラズマ中の電子が遷移過程で光子を放出するためであり、異なるガス成分や放電条件によって異なる色や強度の発光が生じます。例えば、ネオンサインはプラズマ放電の発光特性を利用しています。ガラス管内に異なる希ガス(ネオンガスやアルゴンガスなど)を充填し、高電圧でプラズマ放電を生成することで、異なる色の光を発し、広告や装飾などの目的に使用されます。
良好な導電性
プラズマ自体は導体であり、これはプラズマ中に大量の自由電子とイオンが存在するためです。特定の特殊なアプリケーションシナリオでは、例えばプラズマステルス技術において、プラズマの導電性を利用してレーダ波を吸収および散乱させ、目標物体がレーダで検出される確率を低減することができます。また、プラズマディスプレイ技術(プラズマテレビなど)においても、プラズマの導電性は画素単位での電子伝送を助け、画像表示を実現します。