Ⅰ. Điểm tập trung kỹ thuật: Khả năng truy nguyên đến các tiêu chuẩn đo lường
Giải pháp này tập trung vào hệ thống tham chiếu đo lường điện năng quốc gia, sử dụng chuỗi truy nguyên được kiểm soát độc lập để đảm bảo kết quả đo điện áp có thể truy nguyên trực tiếp đến Hệ thống đơn vị quốc tế (SI). Bằng cách loại bỏ lỗi liên kết từ các thiết bị đo lường truyền thống, nó cung cấp khả năng đo điện áp chuẩn mực cho các phòng thí nghiệm tiên tiến.
Ⅱ. Sáng tạo kỹ thuật cốt lõi
Cấu trúc bù lỗi biến áp điện áp hai giai đoạn
• Sử dụng thiết kế vòng kín kép với cuộn sơ cấp + cuộn bù, bù trừ động tác dòng kích thích và phản ứng rò rỉ thông qua việc hủy từ thông ngược thời gian thực. Điều này vượt quá giới hạn chính xác lý thuyết của biến áp một giai đoạn.
• Độ chính xác cuộn bù: ±0,5 ppm, cho phép tự động hiệu chỉnh lỗi phi tuyến trong phạm vi rộng (1%–120% Un).
- Hệ thống điều khiển nhiệt độ ngâm dầu ổn định
• Đầy đủ chất cách điện ester tổng hợp có độ ổn định cao (hệ số nở nhiệt <100 ppm/°C).
• Điều khiển nhiệt độ bán dẫn ba giai đoạn:
• Độ chính xác nhiệt độ dầu: 55±0,05°C (vượt yêu cầu ±0,1°C)
• Độ dốc nhiệt độ: <0,3°C biến đổi theo trục giữa các cuộn dây
• Hằng số thời gian nhiệt >8 giờ; sự dịch chuyển hàng ngày <0,01°C.
- Bộ chia điện trở nền thạch anh siêu thấp TCR
• Các phần tử điện trở trên nền thạch anh (CTE=0,55 ppm/°C).
• Điện trở màng kim loại cắt bằng laser (hợp kim NiCrAl):
• Hệ số nhiệt (TCR): <0,05 ppm/°C (trung bình đã kiểm tra)
• Hệ số điện áp (VCR): <0,02 ppm/V
• Tỷ lệ lão hóa hàng năm: <3 ppm
Ⅲ. Các kịch bản ứng dụng
• Tiêu chuẩn điện áp của viện đo lường quốc gia
• Giám sát điện năng cho thiết bị sản xuất chip (ví dụ: máy khắc có độ phân giải 0,1nm)
• Chứng nhận chính xác nguồn điện cung cấp cho thiết bị confinment từ trường trong các thiết bị hợp nhất
• Đo điện trở tham chiếu cho các vật liệu bán dẫn mới
Đăng nhập
