Lausnarskrá fyrir hágildis vakúmavirðingar

Þróun dielektrískrar styrkstöðu í vakuóhólfum fyrir hágildisþrýsting
Það eru aðallega tvö aðferðir til að auka dielektrískri styrkstöðu vakuóhólfs til að uppfylla gildisthrýstingsins á hágildi (HV):

Auka sambandsfjarlægðina í tvípunktsstillingu: Í vakuó er brottnám að mestu leyti yfirborðsefni, sem hefur mikil áhrif af standa sambandssvæðanna. Eftir því sem í SF6-gas er brottnám að mestu leyti rúmeffektur sem fer línulega saman við fjarlægðina, er vakuóbrottnám frekar háð gæði og standa sambandssvæðanna. Dielektrískri styrkstöðu í vakuó birtist frábær jafnvel með smá millimetrar (2–4 mm), en hún fer síðan hækkandi upp í þessari bilu. Því miður, aukning sambandsfjarlægðarinnar getur hætt styrkstöðuna, en aðeins til ákveðins punkts, eftir það gefur ekki mikið aukna gagnavirkni.

Setja tvo eða fleiri hólfa í röð (Fleirubrot-stöðvarbrot): Fleirubrot-stöðvarbrot eru hönnuð til að dreifa spenna jafnt yfir margar millimiklar, sem tryggir samrýmda athugun bæði við venjulegar aðgerðir og við skiptingaraðgerðir. Með því að setja tvo eða fleiri hólfa í röð, getur verið náð ákvæðu spennustigi með samlaðri sambandsfjarlægð sem er minni en það sem væri nauðsynlegt með einum hólfi. Þessi aðferð notar grunnspenna-sameiningar til að tryggja jafn dreifingu spennu yfir allar millimiklar, sem bætir við áreiðanleika og athugun kerfissins.

Forskur fleirubrotsstillingar:
Minni samlað hólfslengd: Náð er ákvæðu dielektrískri styrkstöðu með styttri samlaðri sambandsfjarlægð heldur en með einu hólfi.
Bætta spennudreifingu: Tryggir að hver hólfur bera sama hluta af spennunni, sem lætur neðan á einstaka sambönd og bætir almennum kerfisstöðugleik.
Bætta áreiðanleika: Lætur sjaldnæra brottnám með því að dreifa spennu yfir mörg punkt, sem gerir kerfið staðbundið gegn bráðupunkts-spennu.

Samkvæmt því, þrátt fyrir að aukning sambandsfjarlægðar í tvípunktsstillingu geti bætt dielektrískri styrkstöðu í vakuó, er hún takmörkuð af metnastöðu fyrir lengri hólfa. Hins vegar, með því að setja mörg hólfi í röð, sérstaklega með notkun grunnspenna-sameininga, býður sér mun hagkvæmari og áreiðanlegri leið til að ná ákvæðu dielektrískri styrkstöðu fyrir hágildisnotkun. Þessi aðferð leyfir betri spennudreifingu og getur drastígt lætt samlaða sambandsfjarlægð, sem gerir hana valkost fyrir hágildisþrýsting í fleirubrot-stöðvarbrotum.